石定盤三次元空気ばね式除振台
AE-SERIES
- 除振部は全方位対応空気ばねを採用し、高いレベルの除振性能を実現しました。
- 石定盤は天然石を採用し、高精度が得られ、熱伝導率と吸水率が低く、耐蝕性に優れています。
仕様
Specification型式 |
AE-1075 |
AE-1209 |
AE-1510 |
AE-1809 |
AE-2010 |
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■dxfファイルダウンロードの注意点はコチラをご覧ください |
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固有振動数 | 垂直1.1Hz 水平0.8Hz | |||||
除振方式 | 全方位対応三次元空気ばね | |||||
水平維持方式 | メカニカルバルブによる自動式(レギュレーター設定圧力0.25Mpa) | |||||
定盤寸法(WxDxT)(mm) | 1000x750x150 | 1200x900x150 | 1500x1000x200 | 1800x900x200 | 2000x1000x250 | |
精度JIS 0級(µm) | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 | |
製品高さ(mm) | 800 | |||||
石定盤重量(kg) | 337 | 486 | 900 | 972 | 1500 | |
搭載可能重量(kg) | 200 | 400 | 1000 | 1000 | 1500 | |
標準付属品 |
φ6mmx5mチューブ・ワンタッチ継ぎ手(PT1/4オネジ) |
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オプション |
集中排気口・コンプレッサー |
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